半導體生產

  • 同時監測多種 PFC 和其他排放成份
  • 高靈敏度和準確度
  • 排放監測和洗滌效率測定

 

半導體生產

在半導體製造業中,使用各樣全氟化合物 (PFC) 。排放於大氣中的 PFC 經過在進程中洗滌排氣而得到減低。在這進程中,GasmetTM FTIR 氣體分析儀可用作測量將排放於大氣層的排放量,亦可監測洗滌器的效率。在排氣中常常監測的 PFC 包括四氟化碳 CF4、三氟甲烷 CHF3、和六氟乙烷 C2F6